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  • 主要区别在于肉眼无法观察的一些细小氮化硅颗粒物的残留导致石墨舟表面的平整性、粗糙度存在差异在3D显微镜状态下测试的氮化硅残留区域与非氮化硅残留区域微观形貌及粗糙度
    发布时间:2019-11-14 浏览次数:23
  • 石墨舟污染原因和改善方法 少量微颗粒膜前附着到wafer上。镀膜时SIN层没能渡到wafer表面,造成小白点 特气管道残遇硅烷(浓度很低),随氮气冲出。在石墨舟出来的过程中造成明显的气流痕迹。
    发布时间:2019-11-12 浏览次数:37
  •   根据以上分析炉管粉尘污染大致分为如下几类:   1.石墨舟舟片上淡黄色微颗粒;   2.石墨舟舟片上​可去掉,或不可去掉小白点;   3.石墨舟舟片上黄色或者白色雾状附着物(称为气流异常);   4.石墨舟舟片上雪花状漂浮物;
    发布时间:2019-11-12 浏览次数:28
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