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石墨舟表面粗糙度对镀膜有影响吗?

发布时间:2019-11-14 点击次数:780

通过厂家对石墨舟清洗配方实验对比对镀膜均匀性的影响,得出数据显示适当增加酸洗、水洗时间,利于镀膜均匀性的改善,显微镜观察,不同的清洗配方对石墨舟表面的微观形貌会有一定的差异化,主要区别在于肉眼无法观察的一些细小氮化硅颗粒物的残留导致石墨舟表面的平整性、粗糙度存在差异在3D显微镜状态下测试的氮化硅残留区域与非氮化硅残留区域微观形貌及粗糙度,数据显示氮化硅残留区域,粗糙度整体均值Sa 为3,5um明显高于正常区域粗糙度Sa为2,8um且氮化硅与石墨舟本身导电性存在较大差异性。进而对镀膜均匀性存在一定的影响。

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