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石墨舟wafer污染可分哪几种

发布时间:2019-11-12 点击次数:695

 石墨舟污染分析及分类:

  1.正常情况下,硅烷氨气,在高温,高频光辉放电的作用下会生成一层较清洁干净,不可擦掉的氮化硅生成物,附着在炉壁上。随着镀膜次数的增加,炉壁的SIN层越厚。

  2.在真空及气流的作用下会产生流沙一样的土黄色的SIN小颗粒。沉积到特气孔法兰内,或分布于炉管的底部,及炉壁上。

  3.由于氮气不清洁(没有安装氮气过滤器),在氮气管壁有白色颗粒,在充氮气回压时随氮气到炉管,附着到wafer或许石墨舟上,形成小白点。

  4.在工艺制程结束后特气管道吹扫不干净(流量计异常),有浓度较低的硅烷。在出石墨舟过程中随氮气冲出,在特气孔周围遇氧燃烧产生白色或许淡黄色的氧化硅雾状附着物。

  5.最严重的是硅烷羊角阀,或用流量计有漏,在冲N2时由于控制不好,会有浓度相对较高的SIH4漏出,在特气孔处遇氧产生明火。燃烧产生的土灰色雪花状漂浮物,会污染整个炉管,和石墨舟及舟内wafer上。

  根据以上分析炉管粉尘污染大致分为如下几类

  1.石墨舟舟片上淡黄色微颗粒;

  2.石墨舟舟片上可去掉,或不可去掉小白点;

  3.石墨舟舟片上黄色或者白色雾状附着物(称为气流异常);

  4.石墨舟舟片上雪花状漂浮物;

PECVD石墨舟


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