PERC管式镀膜石墨舟污染异常解决方案
发布时间：2020-06-29 点击次数：4574
管式镀膜在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜，增强光的吸收与钝化作用，镀膜故障部分存在解决时间比较长，分析困难的情况，本文将介绍管式镀膜舟污染异常情况，期待与您共同进步。
1.1 管式镀膜5管膜后硅片折射率异常，现场石墨舟被污染，怀疑硅烷流量计实际流量大。
2.1 检查5管的整管的真空情况，漏气保压情况均无异常，但通过现场污染情况以及折射率，流量计控制异常可能性较大；
a. 手动测试现用的硅烷流量无异常，怀疑硅烷流量计实际值与显示值偏大。b. 更换返修的硅烷流量计，手动测试流量计无异常，但在做2-3舟正常工艺后仍出现膜后片子折射率异常，并且蝶阀的开度在工艺步下一舟的开度比前一舟的大。c. 再次更换新的硅烷流量计，氦检真空管路未发现异常，手动测试流量计无异常，但在做正常工艺2-3舟后出现膜后片子折射率异常，再次测试硅烷流量计发现同样500sccm的流量，5管的压力值比其他管明显上升。a. 调低硅烷流量，怀疑NH3流量计异常，导致实际NH3流量低造成硅烷无法完全反应造成。b. 更换返修的氨气流量计，手动测试氨气流量、压力都正常，但在做2-3舟正常工艺后仍出现膜后片子折射率异常。c. 再次测试氨气流量计发现氨气流量控制不稳，再次更换氨气流量计，手动测试氨气流量、压力都正常。d. 但在做2-3舟正常工艺后仍出现膜后片子折射率异常且蝶阀开度不断增大，手动测试氨气流量、压力都正常，排除氨气流量计异常。2.4 怀疑主抽内部漏气、真空不足造成，验证无异常；a. 更换主抽，怀疑可能真空泵抽真空能力不足造成，更换返修的真空泵，测试无效。b. 与正常的工艺炉管对调主抽、蝶阀、预抽、压力计、真空泵，正常工艺2-3舟后仍出现膜后片子折射率异常。c. 通过对调排除了主抽、蝶阀、预抽、压力计、真空泵。
2.5 怀疑DPC控制箱、流量计控制信号线异常，验证无异常；a. 与正常管对调 DPC整个控制箱、硅烷流量计控制线。c. 但做正常工艺，做2-3舟后仍出现膜后片子折射率异常。d. 通过对调排除了DPC控制箱内的控制板，硅烷流量计控制线。
c. 做正常工艺，但做2-3舟后仍出现膜后片子折射率异常。a. 为测试排除其他因素影响，重新更换3个新的控制硅烷流量计的气动阀。b. 拆除硅烷手阀以后的管路，发现硅烷流量计进气管道的一节有很薄的一层氧化物。c. 用气枪吹扫管路，酒精浸泡管路并用布擦拭管路内部，清理内部脏污。d. 为避免流量计被脏污颗粒再次污染，更换新的硅烷流量计；f. 做正常工艺，膜后片子折射率无异常，工艺恢复正常。
3. 结论总结
3.1针对此次异常故障，存在重复排查情况，硅烷流量计重复更换多次，耗费时间较长；
3.2测试过程中的流量计在初次测试过程中无异常，但在每次试做2-3个工艺循环后出现问题，问题来源管道脏污的关系较大，后期可作为流量异常的参考；
3.3如果故障一时无法判断，可采取利用排除方法进行硬件更换，来缩小排查范围，提高问题处理效率；
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