石墨碳毡在半导体中的应用

石墨碳毡毡我们主要分为几个行业，，第一部分是在这个适用温度1500度，也就是光伏和硬质合金烧结。第二部分就是光纤，适用温度是在2100度左右。第三部分就是我们应用在碳化硅和蓝宝石，这部分属于真正的高温状态温度大于2350度。

石墨碳毡厚度一般在40-50mm左右，石金科技可订做加厚石墨碳毡，现可以做到100mm石墨碳毡，呈黑色板状，碳毡，长度跟宽度不限制，它可以切割。它具有低导热系数、高纯度、高热稳定性、抗侵蚀、易切割加工的特点。主要是应用在真空炉隔热； 惰性气体炉隔热；多晶硅/单晶硅炉隔热中。

石墨软毡是将硬毡经过石墨化制成，黑色，厚度一般在2-10mm之间，宽度1.2m，由于比较柔软，更方便裁剪，碳毡生产厂家，一般呈卷状。它具有导热系数低、比热低、热稳定性高、阻抗良好、加工简单、表面性能好、纯度高、结构非常均匀、不产生静电并有高度的形状保持性，是高温真空电阻炉，碳毡厂家，特别适用于半导体的特种材料，制备炉的优良保温材料，也是抗腐蚀的过滤材料。

石墨碳毡是以聚丙烯腈基炭毡或者石墨毡为基体材料，经特种工艺结合、固化、定型、碳化、高温处理后成型．具有良好的形状保持性、自支撑性、比重小、无短纤脱落、表面光洁度高、热导系数低，耐高温．抗热震性好〈长期使用不开裂．不变形），使用寿命长、便于安装拆换．使用温度可达3000℃，是高温真空设备．非氧化气气氛高温设备理想的新型隔热保温材料。适用于真空高压气淬炉、真空烧结炉．加压真空烧结炉，单晶硅炉．多晶硅炉、碳化硅重结晶炉等各种炉型·可根据用户要求加工，加工公差小，提供平板、圆盘、圆筒等各形状产品为防止氧化侵蚀，本产品表面可进行特殊涂层处理，如：石墨涂层．粘贴石墨纸、石墨布等“

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